作者carter696945 (carter696945)
看板NEMS
標題Re: [問題] Tio2氣體感測器
時間Sat Apr 28 13:59:59 2018
※ 引述《b10238056 (cyhuang)》之銘言：
: 請問 使用RF sputter 濺鍍二氧化鈦薄膜
: 結果薄膜沒有電阻反應
: 靶材是99.99%Tio2
: 濺鍍時只有用氬氣
: 試問為什麼呢？
哈囉，請問有在做氣體感測嗎
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 114.137.123.222
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1524895201.A.929.html
1F：推 b10238056: 你好 有唷 04/28 15:02