※ 引述《jack30127 (龍)》之銘言： : 標題: [問題] 請問是否有AZ4620專門的去光阻液 : 時間: Thu Nov 12 12:21:34 2015 : : -- :

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.117.156.77 : ※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1447302096.A.7D1.html : → homesa: AZ400K? 11/12 14:11 : 推 SkyLark2001: Acetone不就行了嗎? 11/12 15:58 : → jack30127: AZ400K不是顯影液嗎@@? 可以用來當作去光阻液使用? 11/13 01:01 : → jack30127: 我是有考慮過丙酮 可是我有看到有很多人使用丙銅去沖 11/13 01:02 : → jack30127: SU8時還是會發生SU8脫落的情形 11/13 01:03 IPA 或是ACETONE是目前最佳解 IPA缺點是對AZ很有可能不夠力。你可以丟進超音波振洗裡面振個幾個小時(舉例)， 說不定就真的成了。 至於acetone 就理論上而言fully cross-linked SU-8是不會(或只有些微)融於ACETONE的 我會說"理論上"是因為我仔細想想，發覺我這輩子好像還真沒有把顯影好的SU-8 丟進acetone過。 至於SU-8在acetone會脫落的可能原因也有好幾種，比方說曝光劑量不夠導致沒有 Fully cross-linked 或是baking的時間或溫度不夠導致顯影後的SU-8中還是含有一定量的溶劑 另外也要考量到放到Acetone的瞬間大量吸/放熱，thermal-expansion導致的 thin film stress而產生的delamination，這些都很有可能是主要原因 --

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