作者bluesky5566 (bluesky5566)
看板NEMS
標題[問題] SOG (spin on glass) 材料
時間Tue Jan 6 10:21:43 2015
請問各位有使用SOG的經驗嗎
想問各位都是跟哪一家廠商訂購呢
問了兩三家都是要一次買大量的,由於我們只是學校的實驗室,不需要大量購買
搭配spin coater和烘烤之後的厚度最薄可以到多少呢 (希望能到500nm以下)
謝謝
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