作者hsnulight (台大東方翔)
看板NEMS
標題[問題] 乾蝕刻ITO
時間Fri Jun 27 16:16:00 2014
如題
最近希望利用RIE蝕刻ITO
不過查了一下大部分好像都會用到CH4來蝕刻
但這邊實驗室的RIE好像都沒有CH4這氣體
請問板上有人有用過其他氣體蝕刻嗎?
另外我的ITO厚度25nm
光阻則是1-2um 所以選擇比不是那麼高的氣體也可以
感謝!
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1F：推 s75287:我用Chlorine...XD 06/27 19:17