作者fap970716 (路人甲)
看板NEMS
標題[問題] ITO玻璃上打Plasma
時間Sun Dec 15 23:46:35 2013
大家好
想請問一下大家有沒有在ITO玻璃上打plasma的經驗或辦法呢?
實驗室之前都是直接用蓋玻片和PDMS一起打plasma
鏈結上都沒有問題
但我自己的實驗需要在蓋玻片上先上一層ITO玻璃
打plasma之後卻發生鏈結不穩的情況
打完plasma都還黏的住，但是灌水之後PDMS就跟玻璃分開了
不知道需要先做過什麼處理辦法?還是功率不夠高呢?
謝謝大家!!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.43.3
1F：推 balaboo123:打過 但ITO上長不出氫氧建 所以無法預pdms bonding 12/16 00:05
2F：→ balaboo123: 鍵 與 12/16 00:06
3F：→ balaboo123:無論功率或是秒數 似乎都調不出可以bonding的組合 12/16 00:06
4F：→ balaboo123:之前因為看到某學校step是這樣做而嘗試... 12/16 00:07
5F：→ balaboo123:目前所知道可行的方法是 PDMS bonding面積底下 12/16 00:08
6F：→ balaboo123:將部分ITO蝕刻掉 讓玻璃裸露出來打plasma 12/16 00:09
7F：→ balaboo123:再利用裸露部分進行接合 但要看你的設計允不允許了 12/16 00:10
8F：→ balaboo123:如果你有其他化學改質的方法 也許可以不用蝕刻 12/16 00:11
9F：推 s75287:ITO表面再PECVD上一層非常薄 oxide 也是可以的.... 12/16 00:50
10F：→ fap970716:謝謝兩位!!我再試試看!! 12/16 19:30