作者bb0303 (empty )
看板NEMS
標題[問題] LPCVD氮化矽蝕刻
時間Wed Nov 13 19:39:24 2013
想請問版友
有沒有人用LPCVD長過氮化矽
然後嘗試用不同濃度的HF蝕刻過?
感謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.165.40
1F：→ himmel:我用過新竹NDL的LPCVD長nitride 厚度1000A 11/15 01:39
2F：→ himmel:然後用49%的HF 20~30分鐘吃光光 沒比較過不同濃度的HF 11/15 01:40
3F：→ bb0303:OK 感謝!! 11/18 13:17