作者littleau (littleau)
看板NEMS
標題[問題] 吃photopolymer的蝕刻劑
時間Sun Nov 3 10:17:55 2013
請問一下哪種蝕刻可以吃掉感光樹脂
我的結構如下:
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mask
photopolymer(感光樹脂)
PET or 矽晶圓
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想對感光樹脂作蝕刻
但找了很多論文都找不到蝕刻劑如何備製
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 124.218.10.134
1F：推 s75287:蝕刻劑? RIE硬吃? 11/03 10:20
2F：→ littleau:用溼式的方是吃掉感光樹脂，想看感光樹脂蝕刻後的ＳＥＭ 11/03 10:26