作者robin0338 (右腦)
看板NEMS
標題[問題] SU8 3025
時間Sat Jun 15 15:15:14 2013
最近想用SU8 3025 將蝕刻孔封住，但需要黏稠度不能流進蝕刻孔內。
也就是希望SU8 會在蝕刻孔上有表面張力，而不會流到蝕刻孔裡。
我查SU8 datasheet裡面有 Viscosity 這項參數。
想請問是否有辦法推倒公式，或是有這方面的資料。
蝕刻孔徑為:10um 左右
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