作者clkdtm32 (愷愷)
看板NEMS
標題[問題] 氧化鈦薄膜通氬氣燒結變黑色?
時間Wed May 29 14:19:02 2013
最近實驗有用到通氬氣進行anneal
溫度為450度、550度、650度
時間皆為一小時
基板為FTO及矽基板
燒完之後
氧化鈦的薄膜居然變成黑色的
想請教各位 通氬氣燒結之後 這樣是正常的嗎?
還是 爐子已經被汙染了?
謝謝各位
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◆ From: 140.135.97.246
1F：推 pttresident:印象中很像氧有缺少的話，會變黑色 05/30 15:36