作者robin0338 (右腦)
看板NEMS
標題[問題] 製成的poly 或 多晶矽 在OM下的顏色?
時間Thu Mar 21 22:59:34 2013
目前製作的是T18的後製成，而製程中需用到ICP打掉背後的substrate。
在設計時有加入poly層，原本poly層在我的設計中是保護層，
但在ICP時，會蝕刻掉poly 多晶矽。
所以想知道poly 在OM下的顏色，在蝕刻到poly的時候便停止ICP。
想請問各位有無遇到此情況??
「過程可能是打ICP一個cycle，便去OM下看是否打到poly。」
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◆ From: 1.34.92.111
1F：推 conway4:poly color不是depends on THK. 03/22 04:11