作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
標題Re: [問題] 負光阻問題
時間Mon Nov 12 17:39:13 2012
使用Futurrex公司的負光阻 NR71-1000PY 或之類的型號(厚度約 1 micron)
可以連絡Futurrex的台灣代理商亞俊公司
詹先生
[email protected]
Futurrex的所有負光阻對應的顯影液都是同一種 : RD6，不會買錯
聯絡詹先生說要sample, 請他賣給你小罐的。
光阻加上顯影液，一萬元內搞定，一周內就會寄到，大勝你重做光罩
Futurrex的薄負光阻顯影起來recipe簡單，成果又是要漂亮就有多漂亮。
也完全不需要使用HMDS或是P-20這類Primer，黃光的方便實用程度不輸台灣學界常用
的薄正光阻S1813 or S1818
既然求學生涯有機會拿老師錢玩個負光阻，就來玩玩啊。
※ 引述《bb0303 (ZZZ)》之銘言：
: 各位好
: 因為光罩上圖形已經定為要使用負光阻來做 (被照到的圖案要留著)
: 然而學校內只提供正光阻
: 製程上是分別鍍上 Cr/Au/Ni 後再把光阻去除
: 之前有聽說lift-off 使用負光阻較佳...所以畫光罩圖形就做成要使用負光阻
: (實際上正光阻也可以啊囧，一個多月前的小弟還懵懂無知...現在也沒多好啦)
: 小弟也沒有學長可以帶 很多事情都自己摸索
: 想請問有經驗的板友、學長們 (我應該沒辦法可以改變必須要用負光阻的事實了吧?)
: 那我要使用何種負光阻比較好，便宜可用就好 (實驗室很窮阿)
: 然而要跟哪家廠商購買呢?
: 感謝回答~!!!
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本球隊一切依法行政，謝謝指教。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 24.17.242.187
※ 編輯: SkyLark2001 來自: 24.17.242.187 (11/12 17:43)
1F：推 bb0303:謝瞜!如果還有機會的話@@ 老師就是錢不多不能亂搞阿~"~ 11/12 17:43
2F：→ SkyLark2001:NDL做光罩不是要五萬，然後好幾個月嗎? 11/12 17:44
3F：→ Colula:五萬= =,5um線寬找中央作便宜多了 11/15 01:35
4F：推 pttresident:有計畫的話，交大或NDL做光罩記得只要付10%就好 11/15 06:53
5F：→ pttresident:然後4吋光罩給交大做有時不到一個月就可以拿到了 11/15 06:53
6F：→ pttresident:5萬可做很多的光罩 11/15 06:54