作者bear100 (bear)
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標題[問題] ZnO sputter & evaporator
時間Wed Aug 22 13:58:00 2012
最近在鍍ZnO的時候有點問題
想請教板上的先進
我是要長ZnO水熱法，先度上一層seed layer
在鍍ZnO的seed layer時，用evaporator 和 sputter差很大
首先
evaporator的部分沒有通O2 但是鍍出來的測鍍片會有鐵灰色
以氨水的水熱方式是可以長出來的
Sputter的部分也沒有通O2 但鍍出來模式偏綠色的
應該是縝密度的差別，可是在氨水環境下膜就整片被吃掉了
想請問一下，為什麼會被吃掉呢?
是因為我sputter出來的膜不是ZnO嗎?還是O-vacancy讓Zn(+2)被氨水反應掉嗎?
先謝謝前輩了
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.41.167
1F：推 nevinyrrals:蒸鍍的可能會有zinc金屬出現 08/22 14:59
※ 編輯: bear100 來自: 140.115.41.167 (08/22 17:19)
2F：→ bear100:是有可能 沒有打元素分析不太知道 只是sputter太誇張 全 08/22 17:20
3F：→ bear100:部被吃光了.. 想問問有沒有人有經驗 08/22 17:20