作者Rappy ()
看板NEMS
標題[問題] 請推薦最好做lift-off的正型光阻
時間Thu Aug 16 15:33:42 2012
請問各位板友有沒有推薦容易lift-off且容易以O2 plasma去除的"正型光阻"？？
因為實驗室最近在嘗試製作小線寬的電晶體
在幾十奈米的線寬下 試片本身禁不起超音波震盪或是用刷的來做lift-off
之前使用的AZ-5214做出來的效果不是很滿意
所以來請問看看大家有沒有建議的光阻
謝謝!!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 1.169.167.45
1F：推 pttresident:IEEE Trans. Electron Devices vol. 52 p. 1874 08/16 23:43
2F：→ pttresident:參考一下？ 08/16 23:43