作者tingyu1027 (tingyu1027)
看板NEMS
標題[問題] 有關E-beam lift off問題~
時間Wed Aug 15 16:59:05 2012
各位好...
最近遇到了一個惱人的問題.
先前用E-beam畫, 比如寫兩條相距1um 的長方形. PMMA 300nm, 鍍金~80nm 後
用ACE lift off , 相距的1um都非常完美, lift off 不會有金屬.
但最近改如兩條斜斜最後交會的長方形...
交會的有角的那部份都會有沾粘, lift 不起來的金屬在上面....圖形就爛掉了..
有甚麼方法讓lift off更強呢?? 還是不是因為這問題, 是E-beam曝光而生的問題??
也試過用NMP 這去lift off, 但還是lift不起來~~
希望大家幫忙了...
Thanks
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