作者sway5566 (sway)
看板NEMS
標題[問題] 乾蝕刻 矽與ITO的方法
時間Sat Jul 21 12:49:37 2012
板上的前輩好
最近老師丟給我一個難題> <
說要蝕刻多晶矽(基板)與ITO
可是又說看能不能不要碰黃光
盡量以最簡單且最便宜的製程完成實驗
所以頭真的有點痛...
如果不用黃光上光阻 我只有金屬遮罩(蒸鍍電極)...
想請問一下如果把金屬遮罩放進去讓RIE打 遮罩會不會GG啊?
還有想請問如果不用黃光製程 有什麼方法能蝕刻ITO?
P.S. 矽跟ITO的蝕刻都是要做成指叉狀 ITO是要當正電極用的
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◆ From: 123.205.154.194
1F：推 pttresident:看你金屬遮罩多厚，不過應該也是0.x mm等級的吧？ 07/22 19:08
2F：→ pttresident:相比你要被吃的膜厚…應該是可以撐好幾次的RIE 07/22 19:09
3F：推 Colula:金屬遮罩不要進RIE,尤其是ICP,不然RFpower很容易mismatch 07/28 01:57
4F：→ Colula:很傷chamber..又有汙染的問題，調得不好甚至在裡面打雷閃電 07/28 01:58
5F：→ shtsao:可以考慮用奈米壓印機或AFM定義圖形 價錢比較便宜 11/15 23:50