我最近在做SU-8，遇到一些問題 先說一下我的實驗大概內容 我在做梳狀結構 也就是一根一根長方形的beam (或稱finger) 長度95um 寬度5um 高度10um beam和beam之間的gap是2um和3um兩種設計 我是使用過期四年(但保存方法還算良好)的 SU-8 2010 目前遇到的問題是 (1)用原廠的datasheet內的總能量去曝光 gap會低於原設計的2um和3um (比對結果認為是過曝) 降低曝光時間後，gap有增加，但附著度變差，甚至顯影時會脫落 (2)且顯影時，會發生本來附著好好的 但因顯影時間過久(datasheet的顯影時間3min)，我又增加2~3min以上) 圖案因而脫落，與您所說的只要cross-linked，顯影很久都不會脫落的結果不同 不知道是不是因為您的圖案面積比我的大很多?? (3)3um的設計，除了gap會縮小到2.5um左右以外，圖案大致上成功 但2um的設計，gap會縮小到1.5um左右以外， gap之間到目前為止，都無法成功顯乾淨。 我的SU-8製程流程 旋500轉30秒 3000轉40秒 軟烤90度 3分鐘 曝光總能量60~140mJ都有(曝光機37mW/s) 曝後烤90度 4分鐘 顯影3分 4分 6分 7分 都有 IPA 10~30秒 -- 佛言．人有二十難： 『貧窮布施難．豪貴學道難．棄命必死難．得睹佛經難．生值佛世難． 忍色忍欲難．見好不求難．被辱不瞋難．有劫不臨難．觸事無心難． 廣學博究難．除滅我慢難．不輕未學難．心行平等難．不說是非難． 會善知識難．見性學道難．隨化度人難．睹境不動難．善解方便難．』 佛說四十二章經(第十二章) --

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