作者asd1217911 (阿潘)
看板NEMS
標題[問題] SU-8 50 與100
時間Wed May 30 16:27:59 2012
您好
目前使用SU-8 50和SU-8 100
想製作100~125微米高度的結構
目前使用700轉(SU-8 50)和2000轉(SU-8 100)做~
高度都差很多~
80~110微米 (SU-8 50) 60~80微米(SU-8 100)
其實依照廠商提供的資料~2000轉(SU-8 100)的高度應該為150微米
但實際做出來卻差很大
此外~高度沒關係~我慢慢試SU-8 50可以~
但是~最近做出來的結構~
結構看出來有部分反光~感覺像脫離基材~使用PDMS翻模就脫落了(基材為玻璃)
請問脫落的情形要使用什麼方法解決~有可能是曝光不足還是過曝?
有爬文看過~目前會先使用氧電漿清洗機過再試試看~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.39.157
1F：→ hoodstrike:廠商給的data sheet真的只是參考 上網找相關paper吧 05/30 18:28
2F：推 SkyLark2001:其實我覺得整個Su-8 datasheet裡面最準的就是厚度 05/30 22:47
3F：→ SkyLark2001:用150轉700rpm只有那種厚度，肯定某方面出了問題... 05/30 22:47
4F：→ HIDEI524:可能跟最後曝後烤或是硬烤有關 06/01 18:29
5F：→ HIDEI524:之前有過直接馬上降低溫度結果SU8整個脫落 囧 06/01 18:30