作者jam46 (巴納猴)
看板NEMS
標題[問題] 氮化鎵與PDMS bonding
時間Wed May 23 15:54:42 2012
前兩天碰到一個有趣的case.....
別的老師的實驗室想做 GaN 和 PDMS bonding，前來向我們lab求援
(我們lab滿常在做 PDMS bonding 的，但對象一般都是跟 Si/glass/PDMS 這類材料)
我請他們準備平坦且清潔過的 GaN 試片，PDMS 塊我也準備好了
但..... 打完氧電漿，兩者貼合，甚至再放進 60 度烤箱烤半小時
結果都還是 bond 不起來，感覺就像 PDMS 壓在玻璃上一樣，一剝就開
請問板上有人有做過 GaN 和 PDMS bonding 的嗎？
我們實驗室主要是做微流道跟細胞實驗，所以小弟對氮化鎵這材料也不熟
這兩種材料能產生鍵結嗎？或是氧電漿的功率需要調高or調低？
麻煩前輩們賜教....感謝！
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