作者Jinuse (積極 努力 )
看板NEMS
標題Re: [問題] 多層s1818光阻
時間Fri May 18 00:52:30 2012
完全同意前面的文章
跟你分享一些作製程的經驗
如果可以直接只用厚光阻旋塗一次來取代的話
當然是最好的方法 厚度跟轉速會有最可靠的關係
如果不得已要做疊層的話
就要看光阻的特性
經過軟烤以後因為溶劑跑掉
光阻的表面特性已經不是原來那個樣子
通常會根本塗不上去 或是塗得破破爛爛的
之前因為不得已要塗兩層AZ P4620
方法是旋塗 軟烤 HMDS 旋塗 軟烤
厚度會比較接近理想中的樣子
我沒用過S1818
不過你可以試看看我的方法
※ 引述《SkyLark2001 ( )》之銘言：
: 我以前做過多層SU-8
: 其實仔細想就知道了
: 只有第一層是光阻轉在Si表面，第二三四層都是光阻轉在光阻表面
: 兩種(PR on Si與 PR on PR)之間的力(摩擦力，附著力，表面張力, whatever)不同，
: 厚度當然不同，而且根據實驗經驗，"差距很大"。
: S1818轉個四層少於4 microns是很合理的。
: 要轉厚一點可1. 轉慢一點(800rpm), 轉的時間短一點(20s-30s)，至多兩層
: 2. 直接使用厚光阻 AZ P4620
: 轉那麼多層其實是下策
: 老師的話，本身又沒做製程的經驗，十個有八個嘴砲又自以為
: 身為研究生，說服老師其實是一門大學問。共勉之。
: ※ 引述《jianhung ()》之銘言：
: : 大家好，又來請教一下
: : 最近在測試多層s1818
: : 基板是Si
: : 參數分為2次、3次、4次的塗佈
: : 我用的是2000 rpm，軟烤90度3分鐘
: : 每一次的做法都相同，僅塗一次HMDS在基板上
: : 以先前的經驗，1層的厚度約2um
: : 然而我發現光阻厚度不是一次一次壘加上去
: : 經過4次塗佈，厚度也不超過4um
: : 老師對這個結果很不以為然
: : 他認為厚度應該會更厚
: : 請問是因為我烘烤的程度不夠
: : 還是光阻與光阻之間的附著力本來就不好呢?
: : 謝謝!
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◆ From: 114.33.128.54
1F：推 blueseas:試過兩層SU8堆疊，不會有你說的那樣子塗佈上去或破爛情況 05/18 22:35
2F：→ blueseas:覺得黏度的影響還是比較重 05/18 22:35
3F：→ blueseas:當然材料表面也是有影響啦! 05/18 22:37
4F：→ Jinuse:對呀 SU8跟AZ P4620不一樣囉 05/19 01:43
5F：推 jianhung:其實老師也是用過SU8疊到1~2mm才能用來說嘴 05/19 10:53
6F：→ jianhung:那是不是就可以解釋成薄膜光阻黏性較低，加上沒有HMDS 05/19 10:55
7F：→ jianhung:所以厚度就上不去了 05/19 10:55
8F：→ Jinuse:我是覺得一個是正光阻一個是負光阻 成分不一樣不能比啦 05/19 23:13