作者weisuan (116菸酒生)
看板NEMS
標題[問題] lift-off 鍍金去除的問題
時間Sun Apr 29 14:07:27 2012
小弟我實驗室
原本是用JSR做電極圖案(電極寬200um最小的地方100um)
但因為一些事現在跟換成AZ1518做電極圖案
別人給小弟的參數如下
STEP1 500 rom 5S
STEP2 1500 rpm 20S
軟烤 100度 3min
曝光 20s (OAI-500)
顯影4分鐘
鍍金(約50nm)
泡丙酮
做出來結果長這樣
http://www.wretch.cc/album/album.php?id=ghjkacda&book=12
電極旁邊的金無法正常脫落
搖晃或者用震盪器搖
結果都是圖型全毀
有沒有哪位
知道這種情形剛整麼處理的
在想說要不要把光阻厚度加高不知道有沒有用
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作者 NavierStokes (那維亞) 看板 graduate
1F：推 howardfang:看到這ID不得不推了!!!11/02 20:36
2F：推 ByronX:看到ID差點腿軟11/02 22:05
3F：推 LittleIe:ID 怎麼了 不懂?11/02 22:36
4F：推 deatherpot:拿這ID google就知道了XDDD11/02 22:47
5F：推 cctina:我估狗了然後我趕快關掉網頁....= =11/03 01:34
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.120.24.59
6F：→ yasuhiro:AZ5214E 用一次就愛上它! 04/29 14:24
7F：推 pttresident:玻璃基板？ 04/29 21:02
8F：推 liweits:有沒有先鍍Cr or Ti? 04/29 22:25
9F：推 astushi:我顯影完會硬烤 04/29 23:43
10F：→ weisuan:嗯玻璃基板 04/30 08:57
11F：推 scorpiom6:疊兩層.第一層先全部個幾分鐘看看吧XD 04/30 10:35
12F：推 pttresident:上面有人問了，你有沒有先鍍Cr或Ti，幫助Au附在玻璃上 04/30 23:56
13F：推 jianhung:借標題問一下 Au如果要鍍在Si wafer上 05/01 00:01
14F：→ jianhung:Ti或Cr哪個比較好? 05/01 00:02
15F：推 Jeffch:看照片很像是金屬在oxide上面adhesion的問題 05/01 02:14
16F：→ Jeffch:to 樓樓上~如果是要增加adhesion兩種都不錯 05/01 02:15
17F：→ weisuan:結果最近用4620成功了~老師說1518先丟旁邊了 05/07 11:11