作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
標題Re: [問題] su8乾膜曝光
時間Tue Apr 17 18:04:47 2012
我沒做過那麼厚的SU-8
但我對薄SU-8的經驗，只要是cross-linked後的SU-8(即曝光與鋪後烤後)，
是相當堅韌的一種材料，怎麼顯都顯不掉(跟正光阻不同)
很難會有所謂"過顯"的發生。在顯影時會發生結構崩壞幾乎都是因為未有cross linked
根據你的描述我會認為一律是曝光時間不足。
所以我會建議你繼續增加曝光時間。
另外有時候該被顯掉的地方顯不掉，我會覺得是光罩(網片)不夠力，不夠黑，
仍有少許光強透過導致曝光。不過你既然是下方顯不掉，而且持續顯得化即能成功，
那應該不是這個問題。
我有看過文獻，有些做厚SU-8的group會在顯影時佐以超音波震洗，
給您參考一下。
結論就是 1. 增加曝光時間 2. 顯影搭配震洗
※ 引述《GOGOGOBANANA (猴子不要來!!!)》之銘言：
: 小弟我目前利用SU-8 3100 (PerMX)製作結構
: 厚度為500um 即100um的乾膜熱壓五層
: 現在在黃光的步驟遇到很大的問題
: 已經做了很長的時間 一直無法突破
: 希望有經驗的前輩能夠給予指點
: 目前遇到最大的問題是
: 常常底部應該顯掉的部份顯不掉
: 如果再繼續顯影 會發生底部吃掉了 但是結構上半部與邊緣已經過顯了
: 於是推測應該是曝光劑量過重
: 但是如果再減少曝光時間
: 又會發生曝光劑量過輕
: 整個結構掉下來
: 現在最好的參數是
: 曝光時間5分鐘(加濾鏡) 曝後烤30分鐘
: 每次顯影都要將近1~1.5小時
: 但是仍然會發生底部顯不掉的情形
: 我已經不知道該調整哪個參數了
: 麻煩有經驗的學長能夠給予一些指導
: 感激不盡!!!
: PS 這個材料實驗室沒有人用過，所以我也只能自己試，無計可施之下才來版上問
: 希望能夠得到一點幫助，謝謝!!!!
--
本球隊一切依法行政，謝謝指教。
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.84.239
1F：推 TreeMan:請問有甚麼情況下震洗會不好嗎？我都是震洗，但之前有聽說 04/17 22:50
2F：→ TreeMan:震洗有時會讓pattern飄起來~ 04/17 22:51
3F：推 ghosthell:樓上要看結構還有超音波的頻率 04/18 07:41
4F：→ SkyLark2001:說真的我沒開過震洗，但我會猜測飄起來的還是因為曝 04/18 17:27
5F：→ SkyLark2001:光不足。純猜測，可以自行試試看 04/18 17:28
6F：→ SkyLark2001:曝光不足或 substrate沒洗乾淨烤乾等等 04/18 17:58
7F：推 minitai0616:pattern被震落也有可能是硬烤時間不夠就顯 04/20 02:31
8F：→ minitai0616:應該是說曝後烤時間不足 04/20 02:33
9F：→ SkyLark2001:恩恩沒錯，結論就是crosslinking做到好，SU-8就可以是 04/20 11:10
10F：→ SkyLark2001:超強的結構 04/20 11:10