小弟我目前利用SU-8 3100 (PerMX)製作結構 厚度為500um 即100um的乾膜熱壓五層 現在在黃光的步驟遇到很大的問題 已經做了很長的時間 一直無法突破 希望有經驗的前輩能夠給予指點 目前遇到最大的問題是 常常底部應該顯掉的部份顯不掉 如果再繼續顯影 會發生底部吃掉了 但是結構上半部與邊緣已經過顯了 於是推測應該是曝光劑量過重 但是如果再減少曝光時間 又會發生曝光劑量過輕 整個結構掉下來 現在最好的參數是 曝光時間5分鐘(加濾鏡) 曝後烤30分鐘 每次顯影都要將近1~1.5小時 但是仍然會發生底部顯不掉的情形 我已經不知道該調整哪個參數了 麻煩有經驗的學長能夠給予一些指導 感激不盡!!! PS 這個材料實驗室沒有人用過，所以我也只能自己試，無計可施之下才來版上問 希望能夠得到一點幫助，謝謝!!!! --

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