作者medo ( )
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標題[問題] 奈米壓印
時間Wed Apr 4 15:32:32 2012
大家好
不知道有誰做過奈米壓印
想請教一些問題
我的模具是14mm*14mm大小的矽奈米柱陣列
呈hcp排列
柱子的直徑約100nm至600nm
週期是200nm至1um
高度約150nm~200nm
壓印的阻劑是PMMA 4A 950k
旋塗在約20mm*20mm 的基板上約200nm厚
壓印使用的機台是obducat 3.0 NIL imprinter
目前壓印的結果無法將14mm*14mm 完全轉印至20mm*20mm的基板上
只有部分區域能轉印上去
想問的問題是
難道用硬模無法做大面積的轉印?(我的sample也沒有很大...)
還是說參數或實驗過程有什麼地方需要注意而我沒有注意到
感謝有緣人的解答!!
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