作者salahey (明天晴天)
看板NEMS
標題[問題]BOE蝕刻液
時間Wed Feb 29 16:56:21 2012
各位板友大家好，
原po的實驗部分中有一道是蝕刻二氧化矽，
由於實驗室之前沒有相關的經驗，
個人查訊過資料後發現大部分的蝕刻液都是使用BOE(HF+NH4F)來蝕刻，
但目前我的問題是我的二氧化矽是鍍在石英WAFER上面，且交界面中有鋁電極
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sio2 → ︱ ︱
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Al電極 → ︱____________________________︱
︱ ︱
石英wafer → ︱____________________________︱
請問是否BOE蝕刻完sio2後會繼續蝕刻到 Al 電極的部分呢？
查的文件中似乎都沒有提到是否會蝕刻鋁，
請問有人有做過相關的蝕刻嗎？希望可以不吝指教，謝謝各位。
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◆ From: 140.112.38.83
1F：推 SkyLark2001:你查一下蝕刻表，看BOE會不會吃Al就行了，不過BOE也會 02/29 16:59
2F：→ SkyLark2001:吃妳的石英基版吧?要小心。只不過BOE etch rate頗低 02/29 17:00
3F：→ divhexa:通常有HF就會吃鋁，除非特別調製過 02/29 17:06
4F：→ divhexa:補充一下，是含有HF的水溶液會蝕刻鋁 02/29 17:07
5F：→ salahey:謝謝各位，我再查看看 02/29 21:19