作者bank00177 (康康)
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標題[問題] HF的問題???
時間Thu Feb 9 20:25:58 2012
請問板上的大大 有什麼金屬是不被HF所吃的嘛???
謝謝大家!!!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.135.97.167
1F：推 rushwallance:Cu,Au,Ni這三種我都試過不會被吃 02/09 21:41
2F：→ bank00177:謝謝喔 那PDMS脫模後會殘留在SI上 有甚麼可以吃掉PDMS的 02/10 11:11
3F：→ bank00177:溶液嗎??? 02/10 11:13
4F：推 ckris1945:吃PDMS好像喬越有種藥劑可以 不然就是用RIE打 02/10 15:08
5F：推 jam46:有看過paper是用NMP:TBAF=3:1來做濕蝕刻，詳見"Patterning 02/11 03:33
6F：→ jam46:PDMS using a combination of wet and dry etching"這篇 02/11 03:36
7F：推 blueseas:記得丙酮會稍微腐蝕PDMS 02/12 18:09
8F：→ bank00177:謝謝大家 我會去試試看!!! 02/13 14:05
9F：→ bank00177:那有甚麼方法可以移除SIO2而不傷害鎳金屬??? 02/13 14:07