作者allenwey (催眠...我很帥的!)
看板NEMS
標題[問題] 有關負型光阻KMPR曝光一事
時間Tue Oct 11 00:06:35 2011
不知道這裡的各位,有人使用過KMPR這支光阻嗎?
因為目前實驗碰到了怪事 = =
KMPR厚度約30um左右,曝光尺寸最小為13um的洞,
泂跟洞之間最小間距約50um!
製程條件如下:
軟烤…85C 5min+110C 5min
曝光…650mJ/contact mode
曝後烤…110C 5min
顯影…4min SU-8 develop
顯影後卻常常發生不定點的洞內曝光或顯影不良?
就是該圓孔的洞型狀有出來,但底部卻有疑似光阻的殘留…
有時候整片檢查都無發現,但有時卻會冒出幾個 = =
無論如何補顯影都不效…
只有使用RIE可以去除,因此應該是高分子的殘留?
推測是光阻或顯影液之類…?
因為是不定點發生,目前懷疑的可能有:
1、底材的影響 前層為NiCo電鍍面,經過研磨整平後,才會做下一層黃光,
懷疑是底材的問題造成?
2、光阻稀釋 因為實驗室只有KMPR 1035,故用稀釋的方式,轉速1300rpm,
可以到厚度30um左右,懷疑是稀釋造成?
3、顯影問題 為手動至入燒杯顯影,顯影後使用IPA沖洗,故懷疑顯影到IPA
的過程中,有顯影或沖洗不均勻的問題?
會有以上幾點懷疑,主要是發生位置都是不定點 = =||
所以會有上述的可能性,才有機會造成??
不知道有經驗的各位,有沒有小弟忽略的地方呢?
已經快被這給未知的問題搞瘋了 @@
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◆ From: 61.216.231.235
1F:推 spp100:光阻沒塗平唷~~ 10/11 10:15
2F:→ spp100:基板磨的不夠平 or 光阻稀釋混合不均勻 10/11 10:16
3F:→ spp100:軟烤完 不定點螺旋測厚尺規量一下厚度 看差多少 10/11 10:19
4F:→ allenwey:請問,光阻沒塗平?怎麼說啊? 10/11 13:40
5F:→ allenwey:光阻塗完後,有用a-step量測厚度 10/11 13:45
6F:→ allenwey:最大?最小約在5~10um之間 10/11 13:46
7F:→ allenwey:以厚膜光阻塗佈來說,落差這樣算可嗎? 10/11 13:48
8F:推 quaintness:30um差5~10um 還蠻糟的...曝光怎麼會均勻?! 10/11 18:51