作者toptom (活老百姓)
看板NEMS
標題Re: [實驗] 金屬蝕刻的反應類型 (Mo鉬金屬)
時間Wed Sep 28 09:55:39 2011
※ 引述《Zoma (喔喔喔~~~)》之銘言：
: 大家好...我是光電所的學生...昨天在作鉬金屬蝕刻時觀察到奇特的現象
: 很想知道為什麼...因此想請問不知道有人可以幫我解答一下
: 一般作濕蝕刻時會假設蝕刻的深度和時間會成一個線性的關係
: 我們是以正光阻(S1813)作為一個遮罩覆蓋在金屬表面...然後蝕刻作出微結構
: 昨天我在試蝕刻鉬(Mo)金屬時...本來期待測出時間對深度的關係...
: 但結果卻是...一開始泡進去時...反應不會進行...泡了約30秒之後
: 樣品表面開始起泡泡.約5秒後反應進行..沒被光阻保護的金屬就在1~2秒內被吃光(~200nm)
: 我對於這樣的現象很有興趣...因為這有別以往蝕刻氧化物時...
: 蝕刻的深度會和時間成正比的關係...不知道有沒有人知道這其中有什麼機制
: 我使用的蝕刻液是自己調配的...35ml磷酸...18ml硝酸...10ml醋酸...65ml水
: 謝謝各位撥冗觀看~
你是不是沒有用石英震盪器或是在燒杯中放入旋轉子
這樣因為溶液比較會與表面接觸 其因濃度差的原理
比較會成正比關係
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