作者endlessbbs ()
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標題[問題] AZ-4620 5um黃光參數
時間Thu Sep 22 19:27:26 2011
各位高手大家好，我最近在測試LAB先人留下的AZ-4620參數
經測試後5um參數最後刮出來的厚度只有2um左右
想請問我的參數是不是哪邊需要做調整
以下是我的機台與參數
雙面曝光機UV400,曝光量10.5mw/cm^2 汞燈350W 波長365nm
step1:1000rpms(10sec) step2:4000rpm(20s)
軟烤:3分30秒(100度)
曝光:13秒
顯影:1分20秒(DI:AZ-400K=1:4)
硬烤:10分鐘(100度)
請大家不吝給予意見，謝謝大家QQ
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.134.32.117
※ 編輯: endlessbbs 來自: 140.134.32.117 (09/22 19:34)
1F：推 jeffdon2:你的第二段轉速太快了，降到2500rpm吧 09/22 21:22
2F：推 s75287:我的做法 2000轉會道10 um... 09/23 00:00
3F：推 quaintness:你那一罐應該不是4620 09/23 17:41
4F：→ endlessbbs:S大指的是第二段轉速? 09/23 17:59
5F：推 jeffdon2:我自己在NDL做過2500RPM大約在6um，有用膜光學厚計測過 09/23 18:03
6F：推 jeffdon2:基本上決定膜厚的都是第2段，旋轉時間加到30~40秒較好 09/23 18:06
7F：推 forceout:4000轉應該5um左右 09/26 17:14