作者FFALAN (Alan)
看板NEMS
標題[問題] 楔型微結構
時間Tue Sep 20 17:08:39 2011
想請教各位前輩有沒有關於gray tone lithography可參考的基本觀念的文獻
因為想在SU8上做出幾十um深之楔型微結構
另外台灣不知道有沒有廠商代工這種光罩呢
謝謝各位
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◆ From: 140.112.4.191
1F：推 SkyLark2001:不知道查詢 "gray-scale lithography"對您有無幫助 09/21 00:57
2F：→ FFALAN:台灣是不是沒人在做這東西阿orz 09/21 13:07