作者dsd (破碎虛空)
看板NEMS
標題[問題] 1mm厚之SU8結構
時間Tue Jun 14 08:51:00 2011
目前想製作1mm之SU8結構，發現已有團隊發表，他們將軟烤溫度升至120度，曝後烤降至
65度，我目前使用膠片光罩製作直徑20多微米之洞陣列，還未有滿意之結果，是否該換
成玻璃光罩呢，另外，加熱時用烤箱是否較合適，不知是否有人有實作經驗可以指教，
謝謝。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.19.129
1F：推 spp100:直徑 20 micro 深 1mm , X-ray litho. 輕鬆曝 06/15 16:40