作者yasuhiro (花開花落春去秋來)
看板NEMS
標題[問題] 蝕刻鍺基板(Etchant)
時間Sun Jun 12 23:10:51 2011
請問一下大家是用什麼etchant來蝕刻鍺基板(single crystal)
我平時用的是NH3:H2O2 = 1:25 但是不知道為什麼有部份樣品吃不動
一般NH3:H2O2 = 1:25 etching rate有 100nm/min 有一半的樣品
我在NH3:H2O2泡了10分鐘以上 連1nm都沒有吃下去.... 把光阻洗掉後
用alpha step一量.... 平平如也.. 冏rz.....
除了HF以外大家有什麼可用的配方嗎? 謝謝!
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