作者bahn (簡大頭)
看板NEMS
標題[請問] 有關於晶圓wafer的空白帶
時間Sun Oct 17 18:02:04 2010
※ [本文轉錄自 ask 看板 #1CkiQ2D5 ]
作者: bahn (簡大頭) 看板: ask
標題: [請問] 有關於晶圓wafer的空白帶
時間: Sun Oct 17 17:48:47 2010
請問熟知晶圓製程的大大們
為何有的晶圓片中間會有俗稱"眼睛"的空白帶
而有的卻沒有呢？
煩請知道的大大們告知，謝謝～！
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.25.178.180
1F：→ amadisyeh: 去科技板比較有人知道 10/17 17:54
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.25.178.180
2F：推 paullai:有些說是Align key或者是PVM區域；也有說法是放一些 10/17 18:45
3F：→ paullai:process 用的pattern、Test die 等等 10/17 18:46
4F：→ panzerfausty:樓上大大所言甚是,不過原PO問的是"眼睛",一般而言"眼 10/17 22:53
5F：→ panzerfausty:睛"應是縮限至alignment mark,所以無須經stepper/ 10/17 22:56
6F：→ panzerfausty:/scanner多層光罩對準的晶圓就不會有"眼睛". 又部分 10/17 22:57
7F：→ panzerfausty:aligner沒有用到如此精準的aligment system,則即便有 10/17 23:00
8F：→ panzerfausty:數層光罩對準需要也無須另行製作"眼睛". 10/17 23:01
9F：推 paullai:原來如此!! 感謝樓上~!! 10/17 23:23