作者forceout (forceout)
看板NEMS
標題[問題] az4620深寬比
時間Wed Apr 21 13:17:12 2010
有人做過5:1左右的AZ4620嗎?
線寬大概10um
不知道是不是汞燈劑量太強.
這台曝光機曝4um只要4秒
我曝50um左右用25秒.
約30秒會爆光阻
顯影時不太容易顯到底.顯到底元件也不見了
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.19.137
1F：推 s75287:你曝光機太屌了...不過我顯影不容易顯到底是真的.... 04/21 14:06
2F：→ fotoa:軟烤調久點 可以曝久一點 深寬比較大時需要這樣調整... 04/21 16:16
3F：→ fotoa:深寬比的話 好像不能到那麼高 你拿原廠資料確定一下 04/21 16:23
4F：→ fotoa:話說....你4620 怎麼轉到50um的阿... 04/21 22:11
5F：推 tzjwinfcha:是分兩次coating嗎? 04/21 23:33
6F：→ forceout:10um+20+20 或10um*5 04/22 12:07
7F：→ forceout:一次20um邊緣會高很多.最好用10um*5.... 04/22 12:08
8F：→ fotoa:這...應該不能做吧 雙層多層的 作法 好像不是只有轉多次阿.. 04/24 03:11
9F：→ forceout:旋+烤五次 04/25 02:16
10F：推 zaidan:想知道你的汞燈是幾瓦的 04/26 20:02
11F：→ forceout:包裝上寫350w 05/04 01:32