作者johsieh (ii)
看板NEMS
標題[問題] anneal temperature
時間Mon Apr 19 08:10:25 2010
請問
為什麼 p type dopant 所需的 anneal temp. 會低於n的呢?
謝囉~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 128.227.2.41
1F：→ modernpkman:由高溫->低溫吧 製程順序? 04/23 01:05
2F：推 oax:因為P dopant尺寸較小,較易擴散 05/01 10:38