作者kenhcterw (click)
看板NEMS
標題Re: [問題] 微流道的上蓋是ITO
時間Tue Apr 13 20:55:02 2010
果然如我所預料的...
我是先把ITO 玻璃放到SU-8 上
再倒PDMS
為了怕有些空氣被PDMS 封住，我拿去抽真空
推測PDMS 就是在抽真空時"滲"進SU-8 與ITO 間
造成在撕起來的時候會有一層很薄的PDMS 於ITO 上
如果這時沒有烤久一點，那一層薄的PDMS會很難乾@@
目前結論就是...想做這樣的事，良率會很低...
目前正在構思避開此問題的方法@@
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 118.169.37.253
1F：→ Looming:你先PDMS多次抽真空把空氣先抽乾淨再上試看看阿 04/13 22:51
2F：推 lockq:我同意樓上的說法 德國學長都這樣做 不把元件放進去抽真空 04/17 04:27
3F：→ lockq:另外你有考慮先用一種東西讓ITO確定跟SU8(小上蓋),然後再用 04/17 04:28
4F：→ lockq:PDMS做你真正的上蓋嗎？ 04/17 04:28
5F：推 lockq:或是把你的東西倒過來放 讓重力使PDMS不滲進去 04/17 04:31