作者luckykey (想學(玩)吉他阿)
看板NEMS
標題[問題] 熱蒸鍍SiO2問題
時間Tue Mar 30 15:18:45 2010
如標題
小弟我有使用熱蒸鍍機蒸鍍SiO2厚度5~10nm
想問版有使用熱蒸鍍方式蒸鍍SiO2會不會因為加熱的關係
造成SiO2到樣品上會有蒸鍍上的問題(諸如樣品變質之類的)
因為材料畢竟不是金屬
單純要鍍上SiO2其實濺鍍比較好
不過礙於儀器問題，所以還是會使用熱蒸鍍來嘗試
實驗室這方面經驗比較少
所以想請問是否有人有碰到類似問題
熱蒸鍍SiO2需要特別注意哪些細節
謝謝
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◆ From: 140.121.98.198
1F：推 s75287:PECVD? 03/30 15:24
2F：→ luckykey:Thermal Coater 03/30 15:32
3F：→ leox243:第一次聽到用熱蒸鍍來鍍OXIDE... 03/30 17:35
4F：推 paullai:Oxide熔點很高吧? 03/30 17:55
5F：→ paullai:沸點也很恐怖? 03/30 17:56
6F：→ ewings:能夠耐到那溫度的鎢舟,我還真想看看會不會比黃金貴... 03/30 18:48
7F：→ luckykey:結論就是千萬不要用熱蒸鍍 謝 03/30 19:52
8F：推 xcent:我們lab都用e-gun在鍍SiO2，加熱好像會讓SiO2的緻密性更好 03/30 22:43
9F：推 s75287:我想說為什麼不用PECVD...XD 03/31 14:16
10F：推 Jinuse:用e-gun鍍oxide還挺常見的吧 NDL很多機台可以用 03/31 20:25
11F：→ Jinuse:直接用thermal鍍的話我就沒經驗囉 看一下奈米中心網頁 03/31 20:25
12F：→ Jinuse:人家可以的話你就可以囉 03/31 20:26
13F：推 saram:用電子槍蒸鍍. 溫度高, 易控制. 04/11 13:28