作者luckykey (想學(玩)吉他阿)
看板NEMS
標題[問題] RIE委託操作
時間Wed Mar 24 10:26:44 2010
如標題
想請問哪邊有RIE儀器委託操作的地方
我的實驗室在玻片上面做一些奈米井，所以會用奈米球在玻片表面做遮罩。
然後用RIE去蝕刻深度2nm~15nm的孔洞。
我知道台大有RIE儀器
不過現在學恐怕最快也要等兩個月才能操作
所以想問說哪邊有委託操作RIE的地方
要付費也可，只好自行吸收。
想請問板上是否有人知道
謝謝
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◆ From: 140.121.98.198
1F：→ leox243:ndl 03/24 12:27
2F：→ leox243:不過這種深度不好抓 03/24 12:29
3F：→ luckykey:I need it very very much. 03/24 12:45
4F：推 tzjwinfcha:工研院 03/24 20:07
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