作者aplasmaman (想愛~卻怕妳受傷害)
看板NEMS
標題[問題] 請問蝕刻金跟鉻...
時間Mon Dec 22 18:09:52 2008
小弟目前有一片wafer 上面鍍有氧化鋅，氧化鋅上面有鉻跟金做的電極
可是做壞了想洗掉，想請問怎樣才可以除掉金跟鉻又不傷害氧化鋅呢?
要用專屬的蝕刻液，還是有什麼溶液可以把全部的金屬一起洗掉?
那這樣的溶液會蝕刻到Si 或 氮化矽嗎?
萬分感謝~
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.38.83
1F：推 Timsteven:不就用碘酒跟CR7嘛~ 12/22 18:16
2F：推 Ice98:Si和Si3N4很強壯的 XD 12/22 20:07