作者divhexa (迎風)
看板NEMS
標題[問題] 請推薦NEMS/MEMS相關的參考書
時間Sat Oct 4 21:42:18 2008
雖然在這個領域做了一段時間，可是看的大部分是相關的期刊論文資料
還有專注在MEMS某個領域的專書
但是最近又覺得手邊似乎要有本入門書才好@@"
不知這裡的前輩是否能推薦幾本MEMS入門的教科書呢?
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◆ From: 122.122.146.180
1F：推 Ice98:Senturia的 Microsystem Design 10/04 23:03
2F：推 Ice98:製程的話可以看莊達人的VLSI製造技術 10/04 23:04
3F：推 peanut2:微機電系統技術與應用 (科儀中心出版，原精儀中心) 10/05 00:10
4F：推 tzjwinfcha:推樓上的書一票 10/05 20:59
5F：推 quaintness:儀科中心吧..Instrument Technology Research Center 10/07 19:49