看了一篇paper MEMS Electronic Nose 裡面其中一段提到heater的設計 看得不是很懂 http://ppt.cc/fhED 第三行到第五行 這段到底是指? 究竟熱的逸失重要還不重要? 第六到八行 是指該heater是由兩層材料以上組成的嗎 (polysilicon layer+其他) 然後這樣會使其溫度不至於高到跟只加熱單一polysilicon層一樣? (那幹嘛不控制加熱的溫度就好?) 然後再來提到為使溫度分布均勻 會在heater上挖直徑30奈米的圓孔 http://ppt.cc/CIEK 第三行到第五行 這段到底是指? 究竟熱的逸失重要還不重要? 第六到八行 是指該heater是由兩層材料以上組成的嗎 (polysilicon layer+其他) 然後這樣會使其溫度不至於高到跟只加熱單一polysilicon層一樣? (那幹嘛不控制加熱的溫度就好?) 然後再來提到為使溫度分布均勻 會在heater上挖直徑30奈米的圓孔 http://ppt.cc/CIEK 為何挖孔可使溫度分布均勻? 問題很多Q___Q 希望有人可幫我解惑 謝謝 --

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