作者app13 (QQ)
看板Master_D
標題[請益]alpha-step問題
時間Sun Aug 24 23:40:29 2008
各位好
請問alpha-step對於厚度為奈米等級(大概150~300nm)的薄膜
在量測薄膜的厚度會很準確嗎?
因為有聽認識的人說光儀器的那根探針就比膜厚大的多
因此用alpha-step量出來的數值誤差會蠻大的
真的是如此嗎?
煩請有經驗的各位不吝告知
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.174.35.150
1F：推 AFM:好像要上千μm才看的出來 ??? 08/24 23:59
2F：推 AFM:應該鍍三千，校正誤差，如果準了，300 nm也不劃差太多 ... 08/25 00:08
3F：推 paullai:原PO問對了 剛好是樓上的專業 (我是說樓上的ID XDD) 08/25 03:09
4F：推 beyondman24:看探針的精準度吧 08/25 06:07
5F：→ beyondman24:我家量150~300NM還蠻OK的 08/25 06:08
6F：→ ninkioh:1f id專業嗎XDDD 08/25 12:35