作者cyclohexene (好累)
看板Electronics
標題[請益] 音頻量測
時間Sun Aug 5 15:01:22 2018
客戶丟給我一個project請我評估能不能做
問題如下
某晶圓廠洗滌製程後段
需要把wafer 用物理式方式弄乾
故用旋轉方式
類似圖書館推車排書方式
一片一片立起來放進一個圓柱型腔體
800-1000rpm轉速去run 8-10min
只是在run的過程中wafer有時會因為高速
而脫離原本位置導致與腔體壁碰撞而碎裂去影響到其他好的wafer
客戶想用音頻監控方式去監測是否有異常狀況
1.正常旋轉下音頻就是固定
2.有異常音頻會突然變異
再透過傅利葉轉換得到波型
想請教板友們這該如何下手？
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 42.77.78.124
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Electronics/M.1533452485.A.2B8.html
1F：推 qekezfeed: 也不知道是磁波還是音波 不過不舒服的時候 耳朵內的高08/05 15:07
2F：→ qekezfeed: 音確實聽起來不一樣08/05 15:07
3F：→ qekezfeed: 也不知道是不是心理影響08/05 15:07
會用一個sensor貼在chamber wall去量測
只是這樣抓到的音頻不曉得如何去定義
這可能要由客戶端去抓了
※ 編輯: cyclohexene (42.77.78.124), 08/05/2018 15:16:32
4F：推 corydoras09: 你有在FB問過?08/06 13:01
5F：→ corydoras09: 認錯了，好像不太依樣@@08/06 13:02
6F：→ HiJimmy: 重量會不會比較好抓? 碎掉就變輕了，而且腔體加大避免反08/06 17:55
7F：→ HiJimmy: 彈這樣會不會比較快08/06 17:55
8F：推 NTUOnline: 音頻可以做啊,只是成本問題...08/07 02:23
9F：→ NTUOnline: 然後還有判斷問題...08/07 02:23
10F：→ NTUOnline: (當然如果只是要監測到,不管哪片立刻停下來不難就是XD)08/07 02:24
11F：→ NTUOnline: 之前好像有人比較過貼sensor和架麥克風收音,麥克風收音08/07 02:26
12F：→ NTUOnline: 好很多(但成本也同時上升很多XDDD)08/07 02:26
13F：→ NTUOnline: 幹嘛不用加速規或光學方法去看XD 客戶這麼愛用音頻哦?08/07 02:28
14F：→ NTUOnline: 不然上面HiJ大的重量也不錯啊~~~XDDD08/07 02:29
加速規跟配合廠商討論過是一個選項
光學方式...因為sensor沒辦法裝在chamber 內 光學理論上無法
音頻是客戶提出來的阿XDDDD
重量....這倒是沒想過 再跟客戶討論看看！
※ 編輯: cyclohexene (42.77.252.153), 08/07/2018 19:31:39
15F：推 nissptt: 換卡匣不太可能，這和"蘿蔔特"綑綁了。光學可能比音頻 08/07 20:08
16F：→ nissptt: 簡單點。做在外面，對卡匣。晶圓算小了，看過面板的spin 08/07 20:08
17F：→ nissptt: table才叫震撼。 08/07 20:08