作者InoueToro (InoueToro)
看板Electronics
標題[問題] CMOS乾蝕刻設備的電位請教
時間Thu Mar 15 15:34:59 2018
請問有沒有版友曉得
CMOS乾蝕刻IMD, Oxide時, 蝕刻Al金屬時,
與WAFER碰觸的載台，其電位偏壓在正電位還是負電位
謝謝
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