作者jaseper (誰肯給我錢賭王建民贏阿)
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標題[請益] 關於MIM Cap 的介電材質
時間Wed Sep 20 03:36:51 2006
請問板上的大大 如果一份文件上寫
他的MIM 介電材質是用 PECVD Oxide
這代表的是他的介電材質是什麼?
是Si3N4 還是 SiO2 還是其他的high-k的介電材質??
還有他的崩潰電壓大概會是多少呢?? (30V or 更低?)
謝謝!!
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◆ From: 61.31.184.9
1F：推 pow:我以為Oxide是SiO2的英文 09/20 10:13
2F：→ jaseper:是SiO2，我後來查的資料是如此。 感謝推文 09/20 21:11