作者b10238056 (cyhuang)
看板Chemistry
標題Tio2 鍍膜請益
時間Sat Apr 7 16:03:25 2018
請問各位大大們
目前我使用RF sputter 濺鍍二氧化鈦薄膜
靶材是99.99 二氧化鈦
基板使用 氧化鋁（Al2O3）基板與載玻片基板
將二氧化鈦濺鍍在兩基板上
以550度c大氣退火
並利用XRD晶相分析
發現銳鈦礦並沒有顯現在氧化鋁基板上
而載玻片確實是有銳鈦礦的
（在鍍膜與退火 都是同步進行）
請問是因為氧化鋁跟二氧化鈦晶格不相容嗎？還是有什麼可能原因導致的呢？
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1F：推 IZO: 1.確認兩種材料的XRD peak有無overlap 04/12 14:48
2F：→ IZO: 2. 你是使用低掠角XRD嗎 04/12 14:49
3F：推 IZO: 3.你的TiO2 XRD peak intensity會不會很弱，被氧化鋁的peak蓋 04/12 14:51
4F：→ IZO: 掉？ 04/12 14:51
5F：→ IZO: 4. 載薄片是amorphous structure嗎 04/12 14:52