作者Harki (Brin)
看板ChemEng
標題Fw: [問題] Si wafer裂片 晶向判斷?!?!
時間Wed May 25 23:34:04 2016
※ [本文轉錄自 NEMS 看板 #1NHSBBhY ]
作者: Harki (Brin) 看板: NEMS
標題: [問題] Si wafer裂片 晶向判斷?!?!
時間: Wed May 25 23:20:41 2016
各位板有大家好
最近遇到一點問題 太久沒接觸
想請教 Si Wafer 要如何從段裂面/斷裂方向
去判斷 此Si Wafer 晶向是何種?! <100> <110> <111>!?!?
還請各位指點!
謝謝~~~
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※ 轉錄者: Harki (175.181.145.142), 05/25/2016 23:34:04
1F：推 lrm549: 你這是在算掛阿 應該是沒辦法從斷裂面得知 150.117.57.137 05/26 13:31
2F：→ lrm549: 晶向 直接用旋轉晶體法 就可以得知了 150.117.57.137 05/26 13:32