作者honusweet (果香)
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標題Fw: [請益] GP-275 convectron gauge混合氣體總壓
時間Tue Aug 20 22:37:16 2013
※ [本文轉錄自 Physics 看板 #1I4kl6Nl ]
作者: honusweet (果香) 看板: Physics
標題: [請益] GP-275 convectron gauge混合氣體總壓
時間: Tue Aug 20 12:08:35 2013
小弟的問題是這樣的，通常我們偵測真空條件時，
粗真空(760~10^-3torr)通常會使用此類的熱傳導真空計，
原理部分因不是問題之一，在這就不多加說明了(倘若知道原理，能更方便您釐清，
請來信可以為您詳細解答)。
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問題(操作濺鍍系統)
在真空腔體達到底壓時，通入的反應氣體包括:氮氣、氬氣，
由於我們的真空計同一時間只能做單一氣體的校正(使用的GP275為氮氣做基準)，
當通入這兩種氣體，壓力讀值便會失真，要如何求算出混合後的總壓!?
目前想到的方法是，以熱力學的規則溶液求出隨分壓改變的壓力變化，
但活性係數這部分的資料不足(以查過)，無法順利求得，想請問還有其他辦法可以
求出嗎!?
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◆ From: 140.118.38.226
1F：→ ewings:壓力計讀到的值就是總壓了,通入混合氣體後亂跳那是操作問題 08/20 13:20
是總壓沒錯，不過是失真的總壓，因為通常gp275只能對單種氣體做校正，通入兩
種不一樣氣體就會有偏差，因為真空計還是以校正的單一氣體為基準去作用。
※ 編輯: honusweet 來自: 140.118.38.226 (08/20 14:24)
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※ 轉錄者: honusweet (180.177.114.234), 時間: 08/20/2013 22:37:16