作者lrsangah01 (看破世界 世界是黑暗的)
看板ChemEng
標題[問題] ITO濕蝕刻
時間Mon Oct 8 17:00:51 2012
最近需要做這件事，我需要把ITO薄膜做出粗糙度，
像是大陸桂林那種石灰岩地形，一根一根的，
但是濕蝕刻的方是越簡單越好，不要碰黃光，
請問有推薦的碩論有實驗步驟可以參考嗎?
現在有點無頭蒼蠅，不知如何是好，
咪聽也快開天窗了。
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◆ From: 140.125.31.215
1F：→ whiskycola:要做線路圖案才要碰黃光吧 做粗糙度 111.255.91.202 10/09 21:04
2F：→ whiskycola:就選擇適當的蝕刻液泡一泡就好 111.255.91.202 10/09 21:06
3F：→ isco:濕蝕刻式等向性的,ITO上面又沒光阻你認為呢 61.59.224.34 10/09 22:57
4F：→ lrsangah01:isco的意思是只會造成ITO薄膜變薄 140.125.31.215 10/10 17:46
5F：→ lrsangah01:而不會粗糙嗎? 140.125.31.215 10/10 17:46
6F：→ isco:沒錯114.136.208.254 10/10 20:29
7F：→ isco:讀碩士不是要自己找文獻嗎? 你這樣太.....114.136.208.254 10/10 20:31
8F：→ whiskycola:還是會變粗糙 做AFM就看得出來 111.255.83.141 10/10 20:40
9F：→ whiskycola:不然可以用蝕刻膏看看 或許更有效果 111.255.83.141 10/10 20:41