作者ak88456lq (天意難違)
看板ChemEng
標題[問題] AZO薄膜電阻值 vs. 時間
時間Sat Aug 4 19:43:14 2012
在實驗中發現
以射頻磁控濺鍍AZO薄膜 膜厚為325 nm
沉積參數為 功率為80 W
沉積壓力為5*10^-3 torr
基板溫度為 室溫
濺射氣體 氬氣
剛沉積完的薄膜電阻值為12*10^-4 Ohm-cm
隨著沉積後的天數增加電阻值逐漸下降，並逐漸趨於穩定，
薄膜暴露環境為"防潮箱"中(確定有防潮功能)。
從物理現象解釋是什麼原因造成的?
本人資質太差，不知道該如果去解釋該現象，
麻煩高手解惑~"~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 111.246.182.101
1F：推 pttresident:沒試著去找資料、文獻嗎？0.0 1.162.43.44 08/05 16:43
2F：→ pttresident:會不會表面因大氣的氧而電阻上升? 1.162.43.44 08/05 16:44
3F：推 a1317775:樓上原PO說是下降ㄟ 所以才不好找吧 111.241.0.89 08/05 22:02
4F：→ isco:先確定你的防潮箱是否有作用吧. 電子式溫濕 59.104.146.251 08/05 22:10
5F：→ isco:度計拿來量一下 59.104.146.251 08/05 22:10
6F：→ isco:不然將sample拿去抽真空去水氣再量一次 59.104.146.251 08/05 22:12
7F：→ ak88456lq:回樓上：上升的文獻很好找了，大多把它 1.170.233.79 08/05 23:39
8F：→ ak88456lq:歸咎於薄膜產生氧化，進而導致電阻值上 1.170.233.79 08/05 23:40
9F：→ ak88456lq:升。但我的量測結果是下降，我老闆說也 1.170.233.79 08/05 23:40
10F：→ ak88456lq:是可以解釋，依他的個性會從薄膜物理的 1.170.233.79 08/05 23:41
11F：→ ak88456lq:角度去思考它的合理性，但我資質太差找 1.170.233.79 08/05 23:41
12F：→ ak88456lq:不出合理的原理去解釋。 ~"~ 1.170.233.79 08/05 23:42
13F：推 pttresident:抱歉，看錯；有確認isco說的防潮嗎？ 140.118.181.80 08/06 11:02
14F：→ ak88456lq:回樓上有確認過了，有防潮作用。 140.134.29.100 08/06 15:25
※ 編輯: ak88456lq 來自: 140.134.29.100 (08/06 15:28)
15F：推 pttresident:那可能要先確認是否大氣影響，或是大 1.162.43.44 08/06 23:35
16F：→ pttresident:氣中哪種氣體的影響 1.162.43.44 08/06 23:35
17F：→ pttresident:如存放在高真空環境下是否也同樣結果 1.162.43.44 08/06 23:36
18F：→ isco:sample抽真空去水氣候量應該就好了 59.104.146.251 08/07 00:21
19F：推 FindScarlett:AZO是否有室溫自身退火的特性?140.114.203.200 08/17 20:30
20F：→ FindScarlett:純金屬隨個室溫存放確實會有電阻下降140.114.203.200 08/17 20:31
21F：→ FindScarlett:的趨勢140.114.203.200 08/17 20:31
22F：→ ak88456lq:回樓上，這個就需要查文獻資料看看囉，111.246.180.247 08/19 10:01
23F：→ ak88456lq:可是依我的印象，氧化金屬跟金屬還是有111.246.180.247 08/19 10:02
24F：→ ak88456lq:差的，物理特性結果應該是不一樣。111.246.180.247 08/19 10:03