※ 引述《FEIASK (FEI)》之銘言： : 如題 今天去拍了場發射電子顯微鏡 有一些問題想要發問 : 1. 想請問sem有個附件桶子 是要加液態氮的 : 請問那液態氮是要幹嘛用的? 那個好像是跟edx的偵測器連在一起的 : 是要降低edx的偵測器溫度嗎? 液態氮桶是冷卻用在打EDX時X-ray Detector需要在極低溫度下始可操作 ；另外二次散射電子會有多餘的熱!也可利用LN2冷卻 : 2. 我看操作員在拍的時候 有調整probe current : 聽操作員說是電子束電流 請問這電流是跟燈絲電流有什麼關係? : 因為之前去拍熱游離的sem是直接把電流強度設定在第二個高峰 : 這種的是直接調完燈絲電流後 就可以拍了 並沒有可以調整電子束電流 : 是場發射這種sem才能調嗎? 電子束電流參數與影像品質相關 電子束電流越大，電子束直徑越大(試片易受損) ;反之則相反，但此參數仍需交互考量其他參數如: 加速電壓大小， 工作距離 PS. 一般來說實驗室通常不會給人調電子束電流 (有點像原廠設定)隨使用時間多 電子束電流會變小，屆時再叫廠商來換修調整 : 3. 我看操作員把燈絲電流設定在10uA : 是有沒有那麼精準 我問他能不能再把燈絲電流加上去 他說不行耶 主要原因是燈絲電流達一閥值(可操作點)時，電子束電流將不會再上升 加大燈絲電流只會 做多做熱功 減少燈絲壽命，一般來說此參數值隨機台設定而定 另一種說法與２.交互應證即:當電子束電流隨使用時間變小時，也可適當調整燈絲 電流，使照片影相品質不受長時間使用影響 : 奇怪了 因此想上來問問看 : 以上幾個問題 麻煩大家多指教 我是這方面的外行人 拜託打大家指導了 感謝! --

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